株式会社松宏

0745-43-6279

〒635-0034 奈良県大和高田市東三倉堂町3-4

復元再生修理について

半導体・液晶・ソーラー関連製造装置に不可欠なスペアーパーツの復元再生修理を低価格、高品質、短納期、そして常に迅速なレスポンスで対応致します。

熱プロセス用ヒータ

TEL社製VOSヒータ(φ200mm)(φ300mm) pdf詳細
トーチヒータ、バーンアウト・ヒータ pdf詳細
除害ヒータ(荏原製、カンケンテクノ社製) pdf詳細
ランプ・ヒータ
(C社・N社露光装置・A社製RTPハロゲンランプ・キセノン・UVランプ等)
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マイカ・ヒータ(TEL社、Axcelis社) pdf詳細
シリコンラバーヒータ/ジャケットヒータ pdf詳細
石英加工品(洗浄ラインの石英ボトル、石英消耗品の取り扱いも致しております。)

各社:ターボ分子ポンプ

各社:ターボ分子ポンプ:O/H・Exchange・中古機販売 pdf詳細

各社クライオ・ポンプ

各社クライオ・ポンプ:定額O/H・Exchange・中古機販売 pdf詳細

(Dry Pump 等の低真空ポンプの御取り扱いはしておりません。)

各社移載ロボット

ウエハ移載・カセット移載・ガラス基板移載ロボットの
定額修理・Refurbish・Exchange・中古機販売
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各社ゲートバルブのO/H

各社ゲートバルブのO/H pdf詳細

各社電源関連の修理

RF Generator & MICROWAVE & MATCHING BOX
   ・DC電源、RPS等
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PCB/Motor/Driverの修理

1)ADVANTEST/TERADYNE/東京精密/TEL等各種Board修理  
2)AMAT CENTURA & P5000用各種Board修理  
3)MOTOR/DRIVER修理 pdf詳細

後工程装置改造・移設

1)ADVANTEST(旧ASIA:テスター)→T6577/T5371/TAC7162等
2)TERADAYNE(プロバー)→J921/A56AM/μFLEX/CATALYST等
3)東京エレクトロン(プロバー)→P−12(XL)/P−8(XL)/M−80W(LT)等
4)東京精密(プロッピングマシン)→UF200(SA)/90A等

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従来、プロセスヒータφ8”(φ200mm)等の重量物は、お客様サイドで交換される場合もありましたが、
φ12”(φ300mm)となると、重量規制の厳しいお客様サイドでのパーツ交換が難しく、
装置メーカー殿に一任されているのが一般的です。
当社は、半導体・液晶・ソーラー関連製造装置に熟知されたケー・エム・テクノロジー社様と
技術力の高いベンダー様との強い協力関係により、従来、純正メーカー殿でなければ
供給が困難とされる基幹パーツ 及び 交換作業を迅速、且つ 低コストで実施させて頂く事が可能となりました。
交換作業を必要とされる場合には、お気軽に御相談下さい。

当社は、お客様のメンテナンス・コストの削減  & ゼロエミッション(Zero Emission)活動に貢献させて頂きます。

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