半導体・液晶・ソーラー関連製造装置に不可欠なスペアーパーツの復元再生修理を低価格、高品質、短納期、そして常に迅速なレスポンスで対応致します。
| ＴＥＬ社製ＶＯＳヒータ(φ200mm)(φ300mm) |  詳細 |
| トーチヒータ、バーンアウト・ヒータ | 詳細 |
| 除害ヒータ(荏原製、カンケンテクノ社製) | 詳細 |
| ランプ・ヒータ (C社・N社露光装置・Ａ社製ＲＴＰハロゲンランプ・キセノン・ＵＶランプ等） |
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| マイカ・ヒータ（TEL社、Axcelis社） | 詳細 |
| シリコンラバーヒータ/ジャケットヒータ | 詳細 |
| 石英加工品（洗浄ラインの石英ボトル、石英消耗品の取り扱いも致しております。） |
| 各社：ターボ分子ポンプ：Ｏ／Ｈ・Ｅｘｃｈａｎｇｅ・中古機販売 | 詳細 |
| 各社クライオ・ポンプ：定額Ｏ／Ｈ・Ｅｘｃｈａｎｇｅ・中古機販売 | 詳細 |
（Dry Pump 等の低真空ポンプの御取り扱いはしておりません。）
| ウエハ移載・カセット移載・ガラス基板移載ロボットの 定額修理・Ｒｅｆｕｒｂｉｓｈ・Ｅｘｃｈａｎｇｅ・中古機販売 |
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| 各社ゲートバルブのＯ／Ｈ | 詳細 |
| ＲＦ Ｇｅｎｅｒａｔｏｒ & ＭＩＣＲＯＷＡＶＥ ＆ ＭＡＴＣＨＩＮＧ ＢＯＸ ・DC電源、RPS等 |
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| 1)ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ／ＴＥＲＡＤＹＮＥ／東京精密／ＴＥＬ等各種Ｂｏａｒｄ修理 | |
| 2)ＡＭＡＴ ＣＥＮＴＵＲＡ & Ｐ５０００用各種Ｂｏａｒｄ修理 | |
| 3)ＭＯＴＯＲ／ＤＲＩＶＥＲ修理 | 詳細 |
1)ＡＤＶＡＮＴＥＳＴ(旧ＡＳＩＡ：ﾃｽﾀｰ)→Ｔ６５７７／Ｔ５３７１／ＴＡＣ７１６２等
2)ＴＥＲＡＤＡＹＮＥ（プロバー）→Ｊ９２１／Ａ５６ＡＭ／μＦＬＥＸ／ＣＡＴＡＬＹＳＴ等
3)東京エレクトロン(プロバー)→Ｐ−１２(ＸＬ)／Ｐ−８(ＸＬ)／Ｍ−８０Ｗ(LT)等
4)東京精密(プロッピングマシン)→ＵＦ２００(SA)／９０Ａ等
従来、プロセスヒータφ８”(φ200mm)等の重量物は、お客様サイドで交換される場合もありましたが、
φ１２”（φ300ｍｍ）となると、重量規制の厳しいお客様サイドでのパーツ交換が難しく、
装置メーカー殿に一任されているのが一般的です。
当社は、半導体・液晶・ソーラー関連製造装置に熟知されたケー・エム・テクノロジー社様と
技術力の高いベンダー様との強い協力関係により、従来、純正メーカー殿でなければ
供給が困難とされる基幹パーツ 及び 交換作業を迅速、且つ 低コストで実施させて頂く事が可能となりました。
交換作業を必要とされる場合には、お気軽に御相談下さい。
当社は、お客様のメンテナンス・コストの削減 ＆ ゼロエミッション（Zero Emission）活動に貢献させて頂きます。
